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什么是超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體?如何應(yīng)用?
超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體也稱感曼器( Susceptor),是一種在磁場中能夠加熱的材料,通過感熱體的熱傳導(dǎo)或輻射來加熱它包容的工件。它主要應(yīng)用于不能直接用于感應(yīng)加熱的工件,如半導(dǎo)體工業(yè)中硅、鍺、砷化鎵和氧化鋯等的高溫加熱,還有一些金屬絲因直徑太細(xì),直接感應(yīng)加熱電效率太低,也可采用感熱體加熱。
制作超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體*常用的材料是石墨,但石墨在高溫時易氧化,因此,應(yīng)在真空或保護(hù)環(huán)境中進(jìn)行。此外,用康奈合金、鉑、鉬、鎢與不銹鋼等材料均能制作感熱體。
超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體的三種主要形式。感熱體把加熱零件與電磁場完全屏蔽了,它靠感熱體的輻射熱來加熱;感熱體沿長度方向開有縫隙,它既有直接來自感應(yīng)器的能量,也有來自感熱體的輻射熱;超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體是環(huán)形的,通常用于玻璃與玻璃或塑料與塑料間的密封,加熱過程中,玻璃或塑料與感熱體接觸部分會軟化,加壓后,此封口件即成為一個整體。
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