電子探針射線顯微分析儀的應用電子探針射線顯微分析儀既可以對物質(zhì)微小部分進行成分分析，又能觀察表面組織形貌。隨著其性能的改進和提高尤其是高頻感應加熱淬火設備了具有*處理能力的電子計算機后，電子探針肘線顯微分析儀可以對金屬和礦物試樣中不同相或組織的成分進行分析，因此廣泛用于金屬材料分析領(lǐng)域。合金中相成分的分析。電子探針X射線顯微分析儀不僅可以分析固溶體的成分和金屬化合物的成分，而且可以分析合金中的析出相及沉淀相的成分。

　　金屬材料中偏析及擴散現(xiàn)象的研究。高頻感應加熱淬火設備金屬材料經(jīng)表面處理后，邊沿*心部的成分將發(fā)生很大的變化，并且對性能有很大的影響。若進行線掃描分析，則可以測定滲層組織元素含量分布曲線，也可通過線掃描及逐點分析精確測定擴散系數(shù)和激活能以及滲層的厚度。晶界偏析情況測定，金屬材料中晶界的偏析和吸附常常引起性能的變化，如脆性斷裂、蠕變性能變差等。電子探針射線顯微分析儀利用線掃描分析法可測定晶界偏析情況。例如，不銹鋼時效處理后，在晶界上析出碳和鉻的化合物，使晶界附近貧鉻產(chǎn)生晶間腐蝕，因此通過電子探針射線顯微分析儀可以分析材料由于晶界偏析而產(chǎn)生性能變化的原因。

　　夾雜物的鑒定。用金相法鑒定夾雜物的類型主要是利用夾雜物光學性能的差異來完成的，所以只能是定性分析。使用高頻感應加熱淬火設備電子探針射線顯微分析儀對夾雜物進行定點分析，能得出夾雜物元素的正確含量，根據(jù)定量分析所得到的成分*可以正確判斷夾奈物的類型。所以電子探針射線顯微分析儀可以與金相法配合，準確檢驗金屬中夾雜物的類別。細顆粒粉末分析。用普通化學分析方法分析范圍內(nèi)的細顆粒粉末的化學成分有一定的難度?？捎秒娮犹结樕渚€顯微分析儀分析細顆粒粉末的成分和含量，速度快，分析準確。痕量分析痕量元素的存在往往影響材料的性能。為了研究材料性能變差或改善的原因，必須對痕量元素進行分析。用電子探針射線顯微分析儀可檢測到范圍內(nèi)的元素含量，因此可以采用逐點分析或線掃描分析方法測定材料中痕量元素的化學成分。